Spécifications de la structure supérieure
| Composant matériel | Propriété technique |
|---|---|
| Capacité de lecture | 0 à 25 mm |
| Seuil de résolution | 0,001 mm |
| Parallélisme des faces | Moins de 1 micromètre |
| Planéité des enclumes | 0,3 micromètre |
| Gestion de l'énergie | Mise en veille automatique après inactivité |



















